潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。
按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
疾控中心實(shí)驗(yàn)室要按照功能用途劃區(qū)布置，將實(shí)驗(yàn)室與各區(qū)嚴(yán)格分開，人流、物流路徑分明，有污染排放的區(qū)域要設(shè)在實(shí)驗(yàn)室的下風(fēng)向，吸風(fēng)口設(shè)在上風(fēng)向，實(shí)驗(yàn)室周圍不宜種植飛揚(yáng)花粉、絨毛和落葉的植物。
(1)人流
初更室—?dú)忾l更衣室—淋浴更衣室—緩沖室—進(jìn)入實(shí)驗(yàn)區(qū)。
離開時(shí)進(jìn)入凈身室(房間負(fù)壓)，脫下身上所有的衣物，衣物放入雙門藥液浸泡柜(或其他方式消毒柜)內(nèi)(雙門藥液浸泡柜的門設(shè)計(jì)成控制式的，不允許同時(shí)打開);然后進(jìn)入淋浴室淋浴;淋浴后進(jìn)入記錄室，登記記錄自己的工作和身體污染情況，然后拿著身體狀況表進(jìn)入體檢室，作污染和常規(guī)檢查或住室觀察，無問題進(jìn)入氣閘更衣室換上自己的衣服下班。
(2)物流
物流：設(shè)計(jì)成單向性的，從專門的庫(kù)房(或暫存間)進(jìn)入緩沖間，再進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室。離開時(shí)必須通過雙門熱壓滅菌鍋進(jìn)入另一個(gè)緩沖間(雙門熱壓滅菌柜的門設(shè)計(jì)成控制式的，不允許同時(shí)打開)。任何物料只要進(jìn)入是實(shí)驗(yàn)區(qū)，不能原路返回。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#
(3)三廢處理
a.廢液：廢液處理的方法是根據(jù)廢液的性質(zhì)確定的處理方法的。一般采取的方法有：化學(xué)處理方法、物理處理方法、生物處理方法。
b.廢氣：廢氣處理可采用的方法有：加熱滅菌方法、高效過濾器方法、混合滅菌方法、火焰滅菌方法等。
c.固體廢料：固體廢料的處理方法有：蒸汽滅菌方法、氣體熏蒸方法、液體浸泡方法、輻射滅菌方法、焚燒處理方法等。
此文章由網(wǎng)站本公司編寫，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。http://www.weo.xin
