不同的潔凈工業廠房照度按工藝要求的不同也有較大的差異，如顯像管工廠的電子槍裝配車間混合照明的照度要達到1000~3000 1x，除設置一般照明外，還需設置局部照明，局照明占混合照明照度的比例不能太大，一般照明照度為混合照明照度的5~15%。我國由于電力較緊張擴大了局部照明在混合照明中的照度比例。如果空間照度低，容易產生眩光，使人感到疲勞，但光源亮度不能太高，常選用熒光燈等線狀光源或帶磨砂玻璃的白熾燈。 
    其次，潔凈廠房中對光源有特殊要求的車間，如：顯像管廠的熒光粉涂敷間、半導體廠房中的光刻間，為了防止感光材料的感光，必須使用黃色或紅色光源的，應滿足其特殊要求選用黃色熒光燈管或低壓鈉燈，黃色熒光燈管也有兩種，一種為燈管內壁涂黃色熒光粉；另一種為白色熒光燈管外套黃色塑料套管，他們的光通量比一般熒光燈都要低。  
    由于潔凈室的特殊性，一般照明燈具的選型應選用外型表面光滑，凹凸面少不家積灰，容易清掃且用不宜產生靜電材料制成的燈具。在滿足照度要求外，燈具的選型和布置主要還應根據室內氣流流型來考慮，當頂棚為垂直單向流送風口時，如：超大規模集成電路廠的光刻車間，其高效過濾器送風口的面積有時可達頂棚面積的80%左右，這樣就給燈具的布置帶來了困難，此時宜選用淚珠式熒光燈，這種燈具對氣流影響較少上，可安裝在高效過濾器專用鋁型材框架下側，既不妨礙送風又有效的利用了僅有的頂棚空間，根據頂棚模數不同，可以選擇燈具的不同長度。